壓縮式真空計(jì),上接根頂端封閉的毛細(xì)管,下端與“Y”形管的端口相接,“Y”形管下方接汞儲(chǔ)存器,使用時(shí),將真空系統(tǒng)與“Y”形管口相接,轉(zhuǎn)動(dòng)真空計(jì),是汞壓縮氣體,再轉(zhuǎn)至垂直位置讀取“測(cè)量毛細(xì)管”與“比毛細(xì)管”的液面差,即為所測(cè)真空度。壓縮真空計(jì)優(yōu)點(diǎn)在于測(cè)量的性高,可作為真空計(jì)量的標(biāo)準(zhǔn)器。他的缺點(diǎn)是使用不夠方便,反應(yīng)緩慢,不能連續(xù)測(cè)量。由于壓縮式真空計(jì)是根據(jù)氣體定律制作的,只能測(cè)量性氣體分壓強(qiáng),而不能測(cè)量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空系統(tǒng)中,壓縮式真空計(jì)的讀數(shù)不能標(biāo)志其真空度。
利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制成熱導(dǎo)式真空計(jì),電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)兩種。通過(guò)電流時(shí)溫度升高,周期氣體被加熱,規(guī)管管壁溫度低,依靠周圍存在的氣體分子傳導(dǎo)熱量,電阻絲溫度變化,即反應(yīng)了存在氣體分子多少。直接測(cè)量電阻絲的溫度很不方便,由于電阻絲的電阻值與溫度有關(guān),故可用電橋測(cè)出其電阻數(shù)值。熱導(dǎo)式真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是:1,可測(cè)量總壓強(qiáng);2,能連續(xù)測(cè)量;3,使用方便,可用導(dǎo)線進(jìn)行遠(yuǎn)距離測(cè)量;4,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造;其缺點(diǎn)是:1,有熱慣性,當(dāng)壓強(qiáng)變化很快時(shí),反應(yīng)滯后;2,外界溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果有定的影響;3.電阻絲表面情況改變,可造成零點(diǎn)漂移,影響讀數(shù)。
是以氣體的電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)來(lái)測(cè)量真空度大小的,可分為熱陰電離真空計(jì)和磁控放電真空計(jì)兩類。當(dāng)在各加上定電源時(shí),燈絲處于白熾狀態(tài),發(fā)出熱電子。這些電子與管內(nèi)氣體分子碰撞,使氣體電離,產(chǎn)生整離子。證離子為離子收集,形成電流,隨著壓強(qiáng)的變化,電流也有變化。測(cè)量電流的大小,即可測(cè)出真空。熱陰電離真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是:1,可測(cè)總壓強(qiáng);2,可連續(xù)測(cè)量;3,測(cè)量范圍廣,靈敏度很高;4,電離計(jì)規(guī)管體積小,可直接連通要測(cè)位置;5,對(duì)機(jī)械振動(dòng)不敏感,慣性??;6,校準(zhǔn)曲線是直線性;其缺點(diǎn)是:1,讀數(shù)與氣體種類有關(guān),不同氣體要做不同曲線;2,燈絲是白熾狀態(tài),真空系統(tǒng)突然漏氣或壓強(qiáng)突然升高,會(huì)使燈絲損壞;3,氣體被吸附在陰和收集表面,易產(chǎn)生測(cè)量誤差;4,在低壓強(qiáng)時(shí),規(guī)管外殼與電放電現(xiàn)象影響讀數(shù);
磁控放電真空計(jì)也是利用氣體放電原理,但在規(guī)管中沒有熱陰。規(guī)管中有兩個(gè)平行陰,兩個(gè)平行板中間有個(gè)框型電。整個(gè)規(guī)管的電部分都在磁場(chǎng)之中。由于外加磁場(chǎng)的作用和陽(yáng)的框型,容易使電子穿越,造成電子在空間做來(lái)回多次的螺旋運(yùn)動(dòng)。增加電離的效果,真空計(jì)的靈敏度則隨之提高。其優(yōu)點(diǎn)是:1,沒有熱陰存在,不會(huì)因漏氣而損害燈絲;2,測(cè)量總壓強(qiáng),可連續(xù)測(cè)量;3,放電電流大,電路使用儀表簡(jiǎn)單;4,結(jié)構(gòu)牢固,對(duì)外界不敏感;其缺點(diǎn)是:在壓強(qiáng)條件下,它的靈敏度不及熱陰電離真空計(jì)高,對(duì)不同氣體也需要不同校準(zhǔn)曲線。